[发明专利]膜厚测定装置和膜厚测定方法在审
| 申请号： | 201610132907.2 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN106017337A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 八寻俊一;尾上幸太朗;田中茂喜 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;朱弋 |
| 地址： | 日本，*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在短时间内测定形成于基板的有机膜的膜厚分布的膜厚测定装置和膜厚测定方法。实施方式的膜厚测定装置包括照射部、拍摄部和控制部。照射部将紫外光照射到形成有有机膜的基板上的照射区域。拍摄部对受到紫外光的照射的照射区域进行拍摄。控制部基于由拍摄部拍摄的拍摄图像的亮度分布求取有机膜的膜厚分布。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚测定装置，其特征在于，包括：将紫外光照射到对形成有有机膜的基板上的照射区域的照射部；对受到所述紫外光的照射的所述照射区域进行拍摄的拍摄部；和基于由所述拍摄部拍摄的拍摄图像的亮度分布求取所述有机膜的膜厚分布的控制部。
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