[发明专利]形状测量装置及其校准方法有效
| 申请号： | 201610133196.0 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN105953703B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 安野円 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种形状测量装置及其校准方法。将具有面对称性的校准计设置在除转台的转动中心以外的位置中。在驱动转台进行转动时测量校准计。基于触针头检测校准计时的转台的相位模式来判断测量轴的偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 及其 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形状测量装置的校准方法，所述形状测量装置包括：/n转台，其用于放置被测物体，并且所述转台能够绕X轴、Y轴和Z轴中的Z轴转动，其中所述X轴、Y轴和Z轴彼此相互垂直；以及/n坐标测量部，其具有被配置为对所述被测物体进行检测的触针头，并且所述坐标测量部被配置为使所述触针头沿与所述X轴平行的方向线性移位，所述坐标测量部还被配置为使用所述触针头来执行沿着所述被测物体的表面的跟踪测量，/n所述校准方法包括以下步骤：/n在采用穿过所述触针头的中心并且与X轴平行的假想线作为测量轴的情况下，将具有面对称性的校准计设置在除所述转台的转动中心以外的位置；/n在驱动所述转台进行转动时，测量所述校准计，其中，所述测量包括：在所述触针头和所述校准计之间开始接触时、在接触过程中所述触针头的线性移位最大时以及在所述触针头和所述校准计之间的接触终止时，分别测量所述转台的相位；以及/n基于测量到的所述转台的相位的模式，来判断所述测量轴相对于所述转台的转动轴是否发生偏移。/n
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