[发明专利]一种低温型水系正性光阻剥离液在审
| 申请号： | 201610133260.5 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN105527804A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 刘欢;谭民洲;吴曼俊 | 申请（专利权）人： | 长沙晟辉新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 长沙永星专利商标事务所 43001 | 代理人： | 周咏;林毓俊 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新区麓谷大道*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低温型水系正性光阻剥离液，包括按重量份计的下述组分：有机胺：3-18份；碱性无机盐：0.5-10份；极性有机溶剂：25-60份；阴离子表面活性剂：0.2-3份；氟碳表面活性剂：0.1-1份；金属抗蚀剂：0.1-3份；去离子水：25-50份；其中碱性无机盐占到剥离液总质量的1～8％，去离子水占剥离液总质量的≤42％。本发明的剥离液使用温度可降至室温进行，具有剥离效率快，能耗低，有机溶剂挥发慢等优点，增强了环保的效果，改善了工厂操作者的生产应用环境，同时延长了剥离液的使用寿命，增强了该产品应用的时效性，很好地降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 水系 正性光阻 剥离 | ||
【主权项】：
一种低温型水系正性光阻剥离液，其特征在于包括按重量份计的下述组分：有机胺：3‑18份；碱性无机盐：0.5‑10份；极性有机溶剂：25‑60份；阴离子表面活性剂：0.2‑3份；氟碳表面活性剂：0.1‑1份；金属抗蚀剂：0.1‑3份；去离子水：25‑50份；其中碱性无机盐占到剥离液总质量的1～8％，去离子水占剥离液总质量的≤42％。
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