[发明专利]一种材料表面低温等离子体改性方法及其装置在审
| 申请号： | 201610133300.6 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN105854759A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 郑少梅 | 申请（专利权）人： | 青岛理工大学 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京国智京通知识产权代理有限公司 11501 | 代理人： | 孙文彬 |
| 地址： | 266520 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种材料表面低温等离子体改性方法及其装置，其中改性方法，包括以下步骤：利用金属电极在脉冲电源激励下放电产生等离子体，在材料表面形成憎水表面结构；通过等离子体中高能粒子的刻蚀作用和等离子体中的活性离子在材料表面发生的聚合和接枝作用来改变材料表面的分子结构，本发明可以改变材料表面的粗糙度和表面能，通过表面改性降低二次电子发射系数，从而提高材料在真空条件下的沿面耐压性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 表面 低温 等离子体 改性 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种材料表面低温等离子体改性方法，其特征在于，包括以下步骤：利用金属电极在脉冲电源激励下放电产生等离子体，在材料表面形成憎水表面结构；通过等离子体中高能粒子的刻蚀作用和等离子体中的活性离子在材料表面发生的聚合和接枝作用来改变材料表面的分子结构。
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