[发明专利]用于通过离子铣处理试样的方法、设备、系统和软件

摘要

本发明公开了离子束铣削或机械加工的方法、装置、系统和软件。该装置包括一个试样支架、一个工作台、一个或多个离子源、可旋转离子光学装置和成像装置。试样夹具被配置为在一个固定的位置，在铣削或加工夹持试样。该工作台被配置为能够在三个正交的线性方向和一个角方向上改变试样夹具的固定位置。可旋转离子光学装置，配置为从任何一个或多个离子源的任何一个或多个离子源的任何角度向上向预定位置处发射一个离子束，当该工作台的角方向为0°方向时，该轴与水平面是正交的。该成像装置被构造成能够产生包括预定位置的试样的图像，从而实现铣削或机械加工过程的实时监控。

主权项

一种设备包括：a)试样夹具，用于在静态位置夹持试样；b)工作台，用于在三正交线方向和角方向上改变试样夹具的静态位置；c)一或多个离子源；d)可旋转离子光学装置，用于从所述一或多个离子源中的任一个，以任意角度朝向试样上的预定区域放射离子束，所述任意角度是关于当角方向为0°角时于工作台水平面的正交轴线的夹角；和e)成像装置，用于产生包括预定区域的试样的图像。