[发明专利]电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置

摘要

本发明涉及电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置。提供能够不使用冷却水而以高的冷却能力冷却高频感应线圈的电感耦合等离子体发生装置和使用其的电感耦合等离子体分析。电感耦合等离子体发生装置（10）由等离子体焰炬（13）、高频感应线圈（14）和高频电源（16）概略构成。此外，在电感耦合等离子体发生装置（10）设置有第一端（18a）连接于高频感应线圈（14）而第二端（18b）连接于冷却块（17）的传热构件（18）。使传热构件（18）的第二端（18b）为与第一端（18a）相比上方的位置，由此，凝结后的工作液由于重力的作用而向第一端（18a）落下移动，因此，工作液的循环、移动性提高，能够发挥高的冷却能力。

主权项

1.一种电感耦合等离子体分析装置，利用电感耦合等离子体对元素进行激励或离子化来得到原子发光线，其中，所述电感耦合等离子体分析装置包括：/n等离子体焰炬，被导入包含对象的元素的运载气体，所述等离子体焰炬包括从其中产生等离子体的开口；/n高频感应线圈，卷绕于所述等离子体焰炬；/n横向入射块或轴向入射块，配置为接收在所述等离子体焰炬中产生的等离子体的光的一部分；/n光谱仪，被配置为检测已经通过所述横向入射块或所述轴向入射块的光；/n传热构件，具有第一端和第二端，所述第一端与所述高频感应线圈连接；以及/n冷却块，连接于所述传热构件的所述第二端，/n在所述传热构件装入有工作液，所述工作液通过所述第一端由于由所述高频感应线圈产生的热而蒸发，形成蒸汽，该工作液的蒸气移动至所述第二端，由此，由所述高频感应线圈产生的热移动到所述第二端，并且，所述蒸气在所述第二端凝结，凝结后的工作液移动至所述第一端，以及/n其中管道排气烟囱和所述轴向入射块中的至少一个被设置在所述等离子体焰炬的上方，从而使得所述管道排气烟囱和所述轴向入射块中的至少一个在垂直方向上与所述等离子体焰炬的开口重叠，所述管道排气烟囱被配置成排出在所述等离子体焰炬和/或反应生成物中产生的等离子体的热，/n以及/n其中所述冷却块被连接到所述管道排气烟囱和所述轴向入射块中的至少一个。/n