[发明专利]超声波传感器及其制造方法

摘要

本发明提供能够实现超声波传感器元件的高密度化，并维持良好的声音特性的超声波传感器。在将相互正交的两个轴设为X轴以及Y轴，并将由X轴以及Y轴形成的平面设为XY平面时，具备：基板(10)，其沿着XY平面；多个空间(12)，它们沿着X轴方向以及Y轴方向的至少一个方向被形成于基板(10)；振动板(50)，其以堵住空间(12)的方式被设置在基板(10)上，且具有基板(10)侧的第一面(50a)以及与该第一面(50a)对置的第二面(50b)；以及压电元件(300)，其被设置在振动板(50)的第二面(50b)侧中与空间(12)对应的部分，并发送和/或接收超声波，空间(12)的至少一部分被形成为交错状。

主权项

1.一种超声波传感器，其特征在于，在将相互正交的两个轴设为X轴以及Y轴，并将由上述X轴以及上述Y轴形成的平面设为XY平面时，具备：沿着上述XY平面的基板；沿着上述X轴方向以及上述Y轴方向的至少一个方向被形成于上述基板的多个空间；振动板，其以堵住上述空间的方式被设置在上述基板上，且具有上述基板侧的第一面以及与该第一面对置的第二面；以及压电元件，其被设置在上述振动板的上述第二面侧中与空间对应的部分，并发送和/或接收超声波，上述空间的至少一部分被形成为交错状，上述压电元件构成为包含第一电极、上述第一电极上的压电体层、以及上述压电体层上的第二电极，上述第一电极是能够在上述X轴方向上按照每一列或者多列进行驱动的独立电极，上述第二电极是在上述Y轴方向上延伸的每一列共用的共用电极，上述空间的至少一部分以向上述X轴方向偏移间距的方式被形成，在上述X轴方向上偏移间距而形成的上述空间的处于上述Y轴方向侧的空间在第一方向上隔着隔壁被并列设置，在上述振动板的上述第二面侧中与上述隔壁对应的部分设置有夹在上述第一电极以及上述第二电极之间的虚拟压电体层。