[发明专利]一种由金属辅助的二维材料纳米带的制备方法

摘要

本发明公开了一种由金属辅助的二维材料纳米带的制备方法。该方法借助金属来制备矩形的金属/二维材料的双层纳米结构，从而在其边缘形成金属/二维材料的纳米卷，该纳米卷曲物的宽度一般可在100nm以下，通过反复使用等离子体刻蚀和湿法溶解金属的方法，最终可以制备出宽度在30～80nm的二维材料纳米带。相对于其他制备二维材料纳米带的技术，本发明不需要使用高精度的电子束曝光机，而且所制备的二维材料纳米带位置可控。

主权项

一种二维材料纳米带的制备方法，包含如下步骤：1)在衬底表面生长二维材料，然后将二维材料转移到绝缘衬底上；2)刻蚀所述二维材料呈矩形，在该矩形二维材料表面旋涂光刻胶，制作与上述矩形二维材料尺寸完全一致的矩形光刻胶窗口；使用热蒸发淀积一层金属形成双层纳米结构，降温后，所述双层纳米结构的边缘处卷曲形成双层纳米卷，将其它区域的金属剥离掉；3)使用等离子体刻蚀所述双层纳米卷位于最外层的二维材料，直至最外层的材料变为金属；4)将最外层的金属溶解，再用去离子水洗净并干燥；5)多次重复步骤3)和4)，直至双层纳米卷中的二维材料都被刻蚀成二维材料纳米带。