[发明专利]铜表面粗化微蚀刻液及其应用方法

摘要

本发明公开一种铜表面粗化微蚀刻液，其主要成分包括硝酸2.5～6.0mol/L、无机酸盐10～80g/L、不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐0.5～30g/L、脂肪胺1‑30g/L和余量去离子水。本发明采用硝酸/无机酸盐体系，结合不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐、脂肪胺，其蚀刻速率稳定、对铜表面的粗化程度良好，且蚀刻后铜表面粗化均匀，可有效提高铜表面与聚合物类物质如干膜、感光阻焊油墨等的结合力，能够满足细线宽电路加工工艺的要求；此外其对不锈钢设备无腐蚀，没有氯离子干扰问题，因此原使用过硫酸盐体系或硫酸/双氧水体系粗化微蚀刻液的厂家不需要更换钛质设备就能使用。

主权项

一种铜表面粗化微蚀刻液，其特征在于：所述铜表面粗化微蚀刻液其主要成分包括：硝酸2.5～6.0mol/L、无机酸盐10～80g/L、不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐0.5～30g/L、脂肪胺1‑30g/L和余量去离子水；其中所述无机酸盐为硝酸盐、磷酸铁和氯化铁的至少一种；所述不饱和脂肪酸为顺丁烯二酸、反丁烯二酸、甲基丙烯酸和丙烯酸中的至少一种，所述不饱和脂肪酸盐为上述不饱和脂肪酸的钠盐、钾盐和铵盐中的至少一种；所述脂肪胺为乙二胺、二乙烯三胺、四乙烯五胺、单乙醇胺、三乙醇胺中的至少一种。