[发明专利]一种高速的显微缺陷复查方法有效
| 申请号： | 201610141241.7 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN105758867B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 伍祥辰 | 申请（专利权）人： | 苏州睿仟医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G03B13/36 | 分类号： | G03B13/36 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 赵晓芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高速的显微缺陷复查方法，包括以下步骤：A)图像扫描找到缺陷点位置；B)相机自动聚焦一直开启，相机沿缺陷点连成的曲线匀速运动；C)到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。该复查取图方法为匀速经过各个缺陷点，自动聚焦一直开启，当相机镜头接近下一个缺陷点时，触发相机和闪光灯，到达每个缺陷点没有停顿，不会产生振动；只有在缺陷点之间运动方向改变，其引发的振动在传感器到达缺陷点的位置之前就安顿下来，所以整个复查过程时间缩短，复查取图效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 显微 缺陷 复查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高速的显微缺陷复查方法，其特征在于：所述复查方法包括以下步骤：A)进行低倍率的图像扫描，找到被检测物体表面的缺陷点位置，将产品上的缺陷点连成曲线，所述低倍率为1x‑5x倍率；B)高速的面阵相机配带高倍率的显微镜头沿缺陷点连成的曲线匀速运动，并且相机自动聚焦一直开启，所述相机上设有用于检测缺陷点的传感器，所述高倍率为20x‑50x倍率，所述相机移动速度为0.1米/秒‑1.0米/秒；C)到达每个缺陷点，触发相机以及闪光灯，完成缺陷点图像拍摄。
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