[发明专利]多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统

摘要

本申请公开了多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统。公开了一种用于基于成像的计量的多层重叠标靶。该重叠标靶包含多个标靶结构，该多个标靶结构包括三个或更多个标靶结构，各标靶结构包括一组两个或更多个图案元素，其中所述标靶结构被配置为，一旦所述标靶结构对齐时共享公共对称中心，各标靶结构围绕该公共对称中心对于N度旋转不变，其中N等于或大于180度，其中该两个或更多个图案元素中的每一个具有单独的对称中心，其中各标靶结构的两个或更多个图案元素的每一个围绕该单独对称中心对于M度旋转不变，其中M等于或大于180度。

主权项

1.一种多层重叠标靶，包括：多个标靶结构，所述多个标靶结构包括三个或更多个标靶结构，其中所述三个或更多个标靶结构中的每个标靶结构被部署于不同工艺层，各标靶结构包括一组两个或更多个图案元素，其中所述标靶结构被配置为，一旦所述标靶结构对齐时共享公共对称中心，其中所述标靶结构中的每个标靶结构围绕所述公共对称中心对于90度及180度旋转不变，其中所述两个或更多个图案元素中的每一个具有单独对称中心，其中各标靶结构的所述两个或更多个图案元素的每一个围绕所述单独对称中心对于90度旋转是变化的且围绕所述单独对称中心对于180度旋转不变。