[发明专利]一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法在审
| 申请号： | 201610143693.9 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107192857A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;施佳林;于鹏;李广勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 许宗富,周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法，包括AFM系统用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动；超声辅助系统用于对纳米薄膜施加超声振动；相位检测系统用于实现基于探针振动相位检测的纳米薄膜与基底的交界面及纳米薄膜厚度检测。检测方法锁相放大器检测加工过程中探针的超声振动与超声驱动信号的相位差，再通过AFM成像获得加工深度信息，从而根据相位差与加工深度的空间对应关系得到深度-相位差曲线，根据该曲线出现的拐点可以检测出纳出米薄膜与基底的交界面和薄膜厚度。本发明可以检测出材料机械特性的变化，进而能够检测出纳米薄膜与其基底交界面，从而确定薄膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超声 afm 纳米 薄膜 厚度 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置，其特征在于包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位检测系统，所述超声辅助系统与相位检测系统连接；AFM系统：用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动，并实时将探针的的悬臂梁偏转信号输出至相位检测系统；超声辅助系统：用于对纳米薄膜施加超声振动，并将超声驱动信号发送至相位检测系统；相位检测系统：用于根据超声驱动信号和探针的悬臂梁偏转信号得到探针振动相位差，实现纳米薄膜厚度的检测。
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