[发明专利]电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备在审
| 申请号： | 201610143833.2 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN106054373A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 伊藤智 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够以在支撑镜的镜支撑部(镜柱内)未残留有牺牲层的方式形成的电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备。电光装置(100)在扭转铰链(扭矩铰链)(35)上设有第一开口部(351)，在第一开口部(351)的周围，筒状的镜支撑部(41)的第一连接部(411)从与基板(1)侧相反的一侧接触于扭转铰链(35)。在镜支撑部(41)的内部未残留有构成牺牲层的树脂。镜支撑部(41)的与基板(1)相反一侧的第二端部(418)为平板部(416)，镜(51)与该第二端部(418)接触。因此，在镜(51)的表面未产生凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 装置 制造 方法 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种电光装置，其特征在于，具有：基板；金属层，包括在所述基板的一面侧向所述基板突出且被支撑于所述基板的第一支撑部、和设有第一开口部的扭转铰链；导电性的第二支撑部，从所述扭转铰链向与所述基板相反的一侧呈筒状地突出，在所述第二支撑部的第一端部具备在所述第一开口部的周围从与所述基板相反的一侧接触于所述扭转铰链的第一连接部，所述第一端部为向所述基板一侧开放的开放端；以及镜，与所述第二支撑部的与所述基板相反一侧的第二端部接触，所述第二支撑部具备与所述第一开口部的内表面接触的第二连接部。
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