[发明专利]电光装置、电光装置的制造方法及电子设备有效
| 申请号： | 201610144163.6 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN106054374B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 伊藤智 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够高效填埋镜支撑部的凹部并抑制镜的表面形成大的凹陷的电光装置、电光装置的制造方法及电子设备。在电光装置(100)中，镜由镜用导电层(56)和镜用反射层(57)的层叠体构成。镜用导电层(56)具备将凹部(520)朝向基板(1)的相反侧的镜支撑部(52)和从镜支撑部(52)的端部(521)延伸并与基板(1)相对的平板部(53)，在凹部(520)内填充有树脂(41)。平板部(53)和树脂(41)的表面构成连续的平面，镜用反射层(57)层叠于树脂(41)的与基板(1)相反一侧的面(411)和镜用导电层(56)的平板部(53)的与基板(1)相反一侧的面(531)。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 装置 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
一种电光装置，其特征在于，具有：基板；金属层，包括第一支撑部和扭转铰链，所述第一支撑部在所述基板的一面侧朝所述基板突出并支撑于所述基板；镜用导电层，具备第二支撑部和平板部，所述第二支撑部将凹部朝向所述基板的相反侧，并从所述扭转铰链朝所述基板的相反侧突出，所述平板部从所述第二支撑部的位于所述基板的相反侧的端部延伸并与所述基板相对；树脂，填充于所述凹部的内侧；以及镜用反射层，层叠于所述树脂的与所述基板相反一侧的面及所述平板部的与所述基板相反一侧的面，并与所述镜用导电层一起构成镜。
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