[发明专利]柔性基板的制作方法

摘要

本发明提供一种柔性基板的制作方法，包括：步骤1、提供刚性基板，在所述刚性基板表面依次生成第一石墨烯层与第二石墨烯层；步骤2、在刚性基板、第一石墨烯层、第二石墨烯层上形成柔性基板；步骤3、沿柔性基板边缘进行切割；步骤4、将第一石墨烯层与第二石墨烯层分离，得到底面留有第二石墨烯层的柔性基板；与现有技术相比可使得柔性基板与刚性基板之间实现无损、温和、高效的剥离；并且柔性基板底面残留的第二石墨烯层对柔性基板不会造成任何影响；有效降低了生产成本，提高了制程的良率。

主权项

一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供刚性基板(2)，在所述刚性基板(2)表面依次生成第一石墨烯层(11)与第二石墨烯层(12)；步骤2、在所述刚性基板(2)、第一石墨烯层(11)、第二石墨烯层(12)上涂覆聚合物材料，形成柔性基板(3)；所述柔性基板(3)的面积大于所述第一石墨烯层(11)、第二石墨烯层(12)的面积；步骤3、按照柔性基板(3)的目标形状，在所述柔性基板(3)上设置切割线(20)，沿所述切割线(20)对所述柔性基板(3)、第一石墨烯层(11)、及第二石墨烯层(12)进行切割；步骤4、将切割后的第一石墨烯层(11)与第二石墨烯层(12)分离，从而实现所述柔性基板(3)与刚性基板(2)的分离，最终得到底面留有第二石墨烯层(12)的柔性基板(3)。