[发明专利]具有照度调整机制的多单元测试探针卡及其照度调整方法

摘要

本发明涉及一种多单元测试探针卡及其照度调整方法，所述探针卡用于同时测试多个光电元件，且包含一电路板、多个遮光片及多个探针。所述电路板具有供测试光线通过的多个透光孔，各透光孔的位置能分别与各光电元件对应。各遮光片能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且各所述遮光片具有一基底及一设于基底的图案，所述基底的透光率高于图案的透光率，至少二所述遮光片的透光率相异。各所述探针分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。由此，本发明的探针卡可利用成本较低、较容易且快速达到的方式调整受测物的光照程度。

主权项

一种具有照度调整机制的多单元测试探针卡，用于同时测试多个光电元件；其特征在于所述具有照度调整机制的多单元测试探针卡包含有：一电路板，具有多个透光孔，用于供测试光线通过，且各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；多个遮光片，能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，各所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率，且至少二所述遮光片的透光率为相异；多个探针，分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。