[发明专利]一种金属湿式蚀刻终点的监控方法及其装置

摘要

本发明提供一种金属湿式蚀刻装置，包括：玻璃基板，用于承载待蚀刻的金属膜；第一光信号收发器，用于向所述玻璃基板垂直地发射穿透性光信号并接收反射回来的光信号；以及第二光信号收发器，用于接收所述第一光信号收发器发射的穿过所述玻璃基板的光信号。其中，所述第二光信号收发器接收到光信号的时间点为位于该光信号照射处的所述金属膜蚀刻完成的时间点。本发明解决了现有技术中，使用光信号收发器对金属湿式蚀刻终点进行监控的过程中，因为金属膜在蚀刻过程中膜的厚度变小而导致光线的反射角度发生变化，而导致无法获取金属膜的准确的蚀刻终点时间的问题。

主权项

1.一种金属湿式蚀刻终点的监控方法，其特征在于，所述监控方法包括以下步骤：在金属膜开始进行蚀刻时，金属湿式蚀刻装置通过控制在玻璃基板角落边沿不同位置的第一光信号收发器同时向所述玻璃基板发射穿透性光信号，并记录发射的时间点以作为蚀刻始点，且保持发射状态；在所述金属膜进行蚀刻的过程中，控制第二光信号收发器实时监控是否有光信号从所述玻璃基板穿透出来；若有光信号从所述玻璃基板穿透出来，则获取所有所述第二光信号收发器接收该光信号的各个时间点，以最后获取到的所述时间点作为所述金属膜的蚀刻终点；根据所述蚀刻始点与所述蚀刻终点计算出所述金属膜所用的总蚀刻时间，所述总蚀刻时间为最后获取到该光信号的所述时间点与所述蚀刻始点的时间差长度；对所述总蚀刻时间进行检测，判断是否大于预设蚀刻时间阈值。