[发明专利]一种应用于电子元件的键合强度测试装置及方法有效
申请号: | 201610147228.2 | 申请日: | 2016-03-15 |
公开(公告)号: | CN106018269B | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 鹿岛英树;杉田悠治;下田武志;福田努 | 申请(专利权)人: | 日本发条株式会社 |
主分类号: | G01N19/04 | 分类号: | G01N19/04 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 董科 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 参照一个实施例,一种键合强度测试装置(50),用于测量硬盘驱动(1)悬架(9)的弯曲部分(10)与安装于弯曲部分(10)的常平架(13)上的电子元件(21,22)之间的键合强度。所述键合强度测试装置(50)包括一个夹紧件(54)、假壳(52)以及装置主体(58)。夹紧件(54)固定弯曲部分(10)。假壳(52)粘附于微型致动器(21,22)。探针(56)咬合于假壳(52)中。装置主体(58)测量当探针(56)被拉向远离弯曲部分(10)的方向时所述探针(56)上的拉伸荷载。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 电子元件 强度 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种键合强度测试装置(50),用于测量硬盘驱动(1)悬架(9)的弯曲部分(10)与粘合于所述弯曲部分(10)的常平架(13)上的一对微型致动器(21,22)之间的键合强度,所述键合强度测试装置特征在于,包括:一个夹紧件(54),用于固定所述弯曲部分(10);一个假壳(52),包括侧表面(52e,52f),侧表面(52e,52f)通过粘合剂(70)附着于微型致动器(21,22)上,和一浮动表面(52a);一个探针(56),通过粘合剂(70)固定于假壳(52)的浮动表面(52a);一个移动单元(66),用于使探针(56)以远离弯曲部分(10)的方向移动;以及一个装置主体(58),用于测量当所述探针(56)被拉向远离所述弯曲部分(10)的方向时所述探针(56)上的拉伸荷载。
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