[发明专利]一种量子点薄膜制备方法有效
申请号: | 201610148917.5 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN105779968B | 公开(公告)日: | 2018-04-24 |
发明(设计)人: | 陈蓉;汪军;单斌;赵凯;张熙;文艳伟 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)42224 | 代理人: | 宋业斌 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种量子点薄膜制备方法,其包括如下步骤1)采用原子层沉积技术在量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物薄膜,以将量子点包覆;2)将包覆有金属氧化物的量子点涂覆在有机薄膜聚对苯二甲酸乙二酯衬底上,制备获得量子点薄膜;3)采用空间隔离原子层沉积技术在量子点薄膜及量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的氧化物薄膜,以保证量子点不被氧化。本发明采用在量子点表面分步包覆钝化膜的方法制备量子点薄膜,解决量子点易被氧化,致使其丧失发光性能的问题,具有制备工艺简单,制备成本低等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 量子 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种量子点薄膜制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:1)量子点的包覆:采用原子层沉积技术在量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物薄膜,以将量子点包覆;2)量子点薄膜的制备:将包覆有金属氧化物薄膜的量子点涂覆在有机薄膜PET衬底上,制备获得量子点薄膜;3)量子点薄膜的包覆:采用空间隔离原子层沉积技术在量子点薄膜及量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的氧化物薄膜,以保证量子点不被氧化。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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