[发明专利]承载盘检验装置

摘要

本发明是有关于一种承载盘检验装置，包括一滑轨单元、二高度计以及一控制单元。滑轨单元包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带是连接一动力源，其中，多个承载盘是依序放置于轨道上，并受横移推杆的线性推移。二高度计分别设置于一支撑架上，提供一单点式光束对应每一承载盘的两侧端缘的上表面，用以感测承载盘的高度变化量，并通过电连接该动力源及该二高度计的控制单元，控制每一承载盘的启动时序，使得每一承载盘可被照射一特定数量的单点式光束的量测点。由此，可有效避免各机台误用过度变形的承载盘，造成半导体元件翻覆、弹出或破损的情况产生。

主权项

1.一种承载盘检验装置，包括有：一滑轨单元，包括有一轨道及一经由一皮带带动的横移推杆，该皮带连接一动力源，其中，多个承载盘依序放置于该轨道上，并受该横移推杆的线性推移；二高度计，分别设置于一支撑架上，提供一单点式光束对应该每一承载盘的两侧端缘的上表面；以及一控制单元，电连接该动力源及该二高度计，以控制该每一承载盘的启动时序，使得该每一承载盘可被照射一特定数量的该单点式光束的量测点。