[发明专利]用于色散控制的芯片上集成的光波导结构及色散控制方法

摘要

本发明公开了一种用于色散控制的芯片上集成的光波导结构，包括位于基底上面的波导芯区，波导芯区设有包层；波导芯区由上下两层不同折射率的材料构成；两层不同折射率材料基本等宽，两层不同折射率的材料的折射率比值≥1.15。利用上述芯片上集成的光波导结构的色散控制方法是，首先，由预设的光波导的一组结构尺寸参数，计算得到一马鞍形色散曲线；然后，通过调整波导芯区与基底接触面的宽度、高折射率材料的高度和低折射率材料的高度中的一个或多个参数，从而实现色散控制。本发明通过将之前设计的波导结构的芯区由三层减为两层，减小了色散调控所需的结构参数，降低了对加工条件的要求。并且适用于该波导结构芯区的材料与之前相比更多。

主权项

1.一种芯片上集成的光波导色散控制方法，其中，芯片上集成的光波导的结构包括位于基底上面的波导芯区，所述波导芯区设有包层；所述波导芯区由上下两层不同折射率的材料构成；两层不同折射率的材料等宽，所述两层不同折射率的材料的折射率比值≥1.15；其特征在于：该光波导色散控制方法是，首先，由预设的光波导的一组结构尺寸参数，计算得到一马鞍形色散曲线；然后，通过调整波导芯区与基底接触面的宽度、高折射率材料层的高度和低折射率材料层的高度中的一个或多个参数，从而实现色散控制，具体内容如下：通过增大高折射率材料层的高度，使得马鞍形色散曲线向色散值增大的方向移动，且左峰的位移量大于右峰的位移量；通过增大低折射率材料层的高度，使得马鞍形色散曲线向色散值减小的方向移动，且左峰的位移量小于右峰的位移量；通过增大波导芯区与基底接触面的宽度，使得马鞍形色散曲线围绕该色散曲线凹谷范围内的一点逆时针旋转。