[发明专利]一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置及方法

摘要

本发明公开了一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置，其特征在于，包括依次设置的1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽，以及1#机械臂和2#机械臂，所述1#机械臂设置并运行于1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽上方，所述2#机械臂设置并运行于6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽上方。本发明通过双工艺槽位进行制绒，提升了设备产能，降低了制造成本；通过进料方式、药液溶度及工艺时间的匹配设计使制绒工艺可控，使硅片在制绒槽、碱槽不出现延时等待现象。

主权项

一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置，其特征在于，包括依次设置的1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽，以及1#机械臂和2#机械臂，所述1#机械臂运行于1#制绒槽、2#制绒槽、3#水槽、4#水槽、5#碱槽、6#水槽上方，所述2#机械臂运行于6#水槽、7#酸槽、8#水槽和9#喷淋槽上方。