[发明专利]超声波键合微流控芯片及其制备方法在审
申请号: | 201610151529.2 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN105833924A | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 刘祝凯;胡在兵;郭哲;许斌;刘伟 | 申请(专利权)人: | 北京同方生物芯片技术有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人: | 陈霁 |
地址: | 101500 北京市密云县密云经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种超声波键合微流控芯片及其制备方法,所述方法包括:制备具有沟槽的基片;制备盖片,所述盖片除中间部分具有与所述基片沟槽相同结构的导能筋外,盖片四周也具有导能筋;利用所述基片上的沟槽和所述盖片上的导能筋进行超声波键合,得到所述微流控芯片。本发明根据基片的特征尺寸,设计针对性的盖片结构,大大简化了芯片注塑模具的制作工艺,提高了生产效率;在封装过程中不需胶黏剂等介质,无污染;并且在连接面为熔融连接,封接强度高;超声波键合前,不需要前序处理,缩短了制备时间,且在键合工艺参数上降低了键合时间,封装速度快,可连续自动化生产,从而实现聚合物芯片的规模化生产。 | ||
搜索关键词: | 超声波 键合微流控 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超声波键合微流控芯片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:通过光刻掩膜技术制备微注塑模板,注塑出具有沟槽的基片;通过光刻掩膜技术制备微注塑模板,注塑出盖片,所述盖片除中间部分具有与所述基片沟槽相同结构的导能筋外,盖片四周也具有导能筋;利用所述基片上的沟槽和所述盖片上的导能筋进行超声波键合,得到所述微流控芯片。
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