[发明专利]基于MEMS的扬声器实现在审
| 申请号： | 201610154536.8 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105992109A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 海姆·库珀施密特;莫迪·马格利特;阿迪·巴拉姆 | 申请（专利权）人： | DSP集团有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R31/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 陆建萍;郑霞 |
| 地址： | 以色列赫*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开了基于MEMS的扬声器实现。微机电系统(MEMS)设备包括基底、支持结构、功能元件和包括导电元件的导电路径；其中功能元件被包括在多个功能层中，多个功能层彼此间隔开；其中支持结构配置成向多个功能层提供结构支持；其中每个功能层经由与功能层相关的导电路径耦合到导电接口；以及其中支持结构包括横向蚀刻停止元件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 扬声器 实现 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)设备，包括基底、支持结构、功能元件和包括导电元件的导电路径；其中所述功能元件被包括在多个功能层中，所述多个功能层彼此间隔开；其中所述支持结构配置成向所述多个功能层提供结构支持；其中每个功能层经由与所述功能层相关的导电路径耦合到导电接口；其中所述支持结构包括横向蚀刻停止元件。
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