[发明专利]Fe-Al型合金溅射靶在审
| 申请号： | 201610157434.1 | 申请日： | 2012-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN105671498A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 原田健太郎 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H01F41/18;C22C38/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种Fe-Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子％，氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。将Al为1～23原子％、其余为Fe和不可避免的杂质的Fe原料和Al原料在熔化温度为1200～1600℃、平均升温速度为300℃/小时以上的条件下熔化(其中，在Al为15～23原子％的情况下，在熔化温度为1400～1600℃的范围且平均升温速度为320℃/小时以上的条件下熔化或者在熔化温度为1200℃以上且低于1400℃的条件下熔化；在Al为1～15％且在Ar气氛中熔化的情况下，将熔化温度设定为1200～1600℃的范围且将平均升温速度设定为300℃/小时以上；在Al为1～15％且在大气气氛中熔化的情况下，将熔化温度设定为1200～1600℃的范围且将平均升温速度设定为320℃/小时以上)，对其进行铸造后，进行轧制和机械加工。 | ||
| 搜索关键词： | fe al 合金 溅射 | ||
【主权项】：
一种Fe‑Al合金溅射靶，其特征在于，Al含量为1～23原子％，氧含量为100重量ppm以下，其余为Fe和不可避免的杂质。
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