[发明专利]一种实时监测气体浓度的光驱动柔性气泵

摘要

本发明公开了一种实时监测气体浓度的光驱动柔性气泵，包括泵本体，在泵本体下方设有第一近红外激光器和第二近红外激光器，在泵本体顶部中心位置垂直设置宽光谱光源；所述泵本体包括泵腔，在泵腔的外部设有泵腔壳，在泵腔底部中心位置设有可调光栅，在可调光栅两侧设有双层膜，在泵腔顶部还设有用于传送气体的进口单向阀和出口单向阀；宽光谱光源发出的光垂直照射在可调光栅上。该气泵具有体积小、功率密度高、驱动量大等优点；可精确控制采样气体的流量；实现气体浓度的实时监测，能够应用于煤矿井下的瓦斯气体监测、有毒气体环境下工作的化工气体监测等领域。

主权项

1.一种实时监测气体浓度的光驱动柔性气泵，其特征在于，包括泵本体，在泵本体下方设有第一近红外激光器(3)和第二近红外激光器(4)，在泵本体顶部中心位置垂直设置宽光谱光源(9)；所述泵本体包括泵腔(7)，在泵腔(7)的外部设有泵腔壳(2)，在泵腔(7)底部中心位置设有可调光栅(6)，在可调光栅(6)两侧设有双层膜(5)，双层膜(5)由内层的石墨烯‑聚二甲基硅氧烷薄膜(51)和外层的聚二甲基硅氧烷薄膜(52)组成；可调光栅(6)采用周期为百纳米级的栅格，由聚二甲基硅氧烷制成；在泵腔(7)顶部还设有用于传送气体的进口单向阀(1)和出口单向阀(8)；宽光谱光源(9)发出的光垂直照射在可调光栅(6)上。