[发明专利]接触型探测器有效
| 申请号： | 201610158104.4 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN106017297B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | E·波士;E·特莱弗斯;日高和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01B7/016 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种接触型探测器，包括：触针，其具有触头；传感器，其具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和至少三个薄壁部，其中所述至少三个薄壁部中的各薄壁部由平板构成并且气相沉积有应变传感器，以及所述触针安装于所述可动部并且所述可动部经由所述薄壁部在至少三个位置处连结至所述固定部；以及两个平行的大致平板，所述两个平行的大致平板在相对的两侧连接至所述固定部，并且以维持所述可动部和所述两个平行的大致平板之间的预定距离的方式来夹持所述可动部并将所述可动部的移动限制于第一可动范围，其中，所述传感器由于所述应变传感器响应于来自所述触针的测量力发生变形而输出接触信号。
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