[发明专利]MOS变容管以及包括MOS变容管的半导体集成设备有效

专利信息
申请号: 201610158916.9 申请日: 2016-03-18
公开(公告)号: CN106531780B 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 朴淳烈;李相贤 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/94;H01L27/06
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 王建国;许伟群
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种MOS变容管,包括:通过通道区相互间隔开的第一N型结区和第二N型结区;栅绝缘层,其设置在通道区上;栅电极,其设置在栅绝缘层上;以及N型阱区,其包括通道区并围绕第一和第二N型结区。N型阱区在通道区内具有最大杂质浓度。
搜索关键词: mos 变容管 以及 包括 半导体 集成 设备
【主权项】:
一种金属‑氧化物‑半导体(MOS)变容管,包括:第一N型结区和第二N型结区,所述第一N型结区和第二N型结区通过通道区相互间隔开;栅绝缘层,其设置在通道区上;栅电极,其设置在栅绝缘层上;以及N型阱区,其包括通道区,并且围绕所述第一N型结区和第二N型结区,其中,N型阱区在通道区内具有最大杂质浓度。
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