[发明专利]MOS变容管以及包括MOS变容管的半导体集成设备有效
申请号: | 201610158916.9 | 申请日: | 2016-03-18 |
公开(公告)号: | CN106531780B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 朴淳烈;李相贤 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/94;H01L27/06 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 王建国;许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种MOS变容管,包括:通过通道区相互间隔开的第一N型结区和第二N型结区;栅绝缘层,其设置在通道区上;栅电极,其设置在栅绝缘层上;以及N型阱区,其包括通道区并围绕第一和第二N型结区。N型阱区在通道区内具有最大杂质浓度。 | ||
搜索关键词: | mos 变容管 以及 包括 半导体 集成 设备 | ||
【主权项】:
一种金属‑氧化物‑半导体(MOS)变容管,包括:第一N型结区和第二N型结区,所述第一N型结区和第二N型结区通过通道区相互间隔开;栅绝缘层,其设置在通道区上;栅电极,其设置在栅绝缘层上;以及N型阱区,其包括通道区,并且围绕所述第一N型结区和第二N型结区,其中,N型阱区在通道区内具有最大杂质浓度。
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