[发明专利]角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201610161168.X | 申请日: | 2016-03-21 |
公开(公告)号: | CN105987688B | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 中川啓史 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01C19/5642 | 分类号: | G01C19/5642 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够抑制噪声的产生、减少检测精度下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有:基部(21);振动臂(22、23),其与基部(21)连接;驱动用压电元件(31、32、33、34),其被设置在振动臂(22、23)上,并以X轴同相且Z轴反相的驱动振动模式进行弯曲振动;检测用压电元件(61、62),其被设置在振动臂(22、23)上,并对围绕检测轴的角速度进行检测,在使振动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动的情况下,在检测用压电元件(61、62)中产生反相的信号,在使驱动臂(22、23)以驱动振动模式进行弯曲振动时施加了角速度(ωy)的情况下,在检测用压电元件(61、62)中产生同相的信号。 | ||
搜索关键词: | 角速度 检测 元件 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种角速度检测元件,其特征在于,具有:基部;与所述基部连接的至少两个振动臂;驱动部,其被设置在所述两个振动臂上,并以如下驱动振动模式而使所述两个振动臂进行弯曲振动,所述驱动振动模式为,在所述基部的面内方向上为同相、且在所述基部的厚度方向上为反相的模式;对围绕检测轴的角速度进行检测的至少两个检测部,所述角速度检测元件以如下方式而被构成,即,在使所述两个振动臂以所述驱动振动模式进行弯曲振动的情况下,在所述两个检测部中产生反相的信号,在使所述两个振动臂以所述驱动振动模式进行弯曲振动时被施加了围绕检测轴的角速度的情况下,在所述两个检测部中产生同相的信号。
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