[发明专利]液刀清洁装置及液刀

摘要

本发明提供了一种液刀清洁装置及液刀，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。本发明所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。

主权项

1.一种液刀清洁装置，用于清洁液刀，所述液刀上具有刀口；其特征在于，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接；所述液刀清洁装置还包括一用于对所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度进行调整的调整结构；所述调整结构包括设置在所述架体上的一卷轴；所述清洁刮片为软质刮片，其一端朝向所述液刀的刀口伸出，另一端卷设在所述卷轴上，其中所述卷轴转动，能够收放所述软质刮片，以调整所述清洁刮片的伸入至所述刀口内的第一高度。