[发明专利]一种金属氧化物气敏传感基体材料及其制备方法

摘要

本发明提供了一种金属氧化物气敏传感基体材料及其制备方法。由以下步骤制备而成：先将硫酸和过氧化氢混合均匀，超声清洗硅片；将氢氧化钠与去离子水混合溶解，超声清洗硅片；将氢氟酸和去离子水混合，超声清洗硅片，将硅片放入丙酮中超声清洗，再放入无水乙醇中超声清洗，然后将氢氟酸与N,N‑二甲基甲酰胺混合均匀，倒入腐蚀槽中，将硅片插入腐蚀槽中进行腐蚀，最后将铁粉、碲粉、纳米二氧化硅、丁基羟基茴香醚和氧化钙混合分散均匀，平铺于坩埚中，插入两片2mm高陶瓷片，将多孔硅片置于其上，密封坩埚，放入马弗炉中煅烧即得。本发明的金属氧化物气敏传感基体材料的灵敏度随着气体浓度的增加而增加，灵敏度高且重复利用的稳定性好。

主权项

1.一种金属氧化物气敏传感基体材料，其特征在于：由以下成分以重量份制备而成：铁粉5‑10份、碲粉5‑10份、纳米二氧化硅1‑2份、硅片10‑20份、N,N‑二甲基甲酰胺20‑30份、氢氟酸20‑30份、丁基羟基茴香醚0.1‑0.3份、氧化钙1‑2份、氢氧化钠1‑2份、无水乙醇20‑30份、硫酸15‑30份、过氧化氢5‑10份、丙酮20‑30份、去离子水30‑50份，包括以下步骤：步骤1：将硫酸和过氧化氢混合均匀，将硅片放入其中超声清洗30‑40分钟；步骤2：将氢氧化钠与20份去离子水混合溶解，将硅片放入其中超声清洗5‑10分钟；步骤3：将10‑20份氢氟酸和剩余去离子水混合，将硅片放入其中超声清洗30‑40分钟；步骤4：将硅片放入丙酮中超声清洗5‑10分钟，再放入无水乙醇中超声清洗5‑10分钟；步骤5：将剩余的氢氟酸与N,N‑二甲基甲酰胺混合均匀，倒入腐蚀槽中，将硅片插入腐蚀槽中进行腐蚀，电流为60‑65mA，腐蚀时间为5‑10分钟；步骤6：将剩余组分混合分散均匀，平铺于坩埚中，插入两片2mm高陶瓷片，将多孔硅片置于其上，密封坩埚，放入马弗炉中煅烧即得，煅烧温度为380‑420℃，煅烧时间为2‑3小时。