[发明专利]微机电麦克风有效
| 申请号： | 201610165187.X | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN106331965B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | R·布廖斯基;A·格里蒂;K·弗莫萨;P·A·巴巴拉 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;意法半导体（马耳他）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 微机电麦克风包括：衬底(2)；传感器芯片(5)，集成微机电电声换能器(35)；以及控制芯片(6)，操作性地耦合至传感器芯片(5)。传感器芯片(5)和控制芯片(6)接合至衬底(2)，并且传感器芯片(5)与控制芯片(6)部分重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种微机电麦克风，包括：基底(2；102)；传感器芯片(5；105)，接合至所述基底(2；102)并且集成微机电电声换能器(35)；以及控制芯片(6；106)，接合至所述基底(2；102)，并且操作性地耦合至所述传感器芯片(5；105)；所述传感器芯片(5；105)与所述控制芯片(6；106)部分重叠，其中所述基底(2；102)包括组装基部(22；122)，所述控制芯片(6；106)固定至所述基底(2；102)，并且所述传感器芯片(5；105)具有固定至所述基部(22；122)的第二部分，并且其中所述基部(22；122)和所述控制芯片(6；106)具有基本相同的厚度。
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