[发明专利]吸盘定位线平面度检测装置及检测方法

摘要

本发明涉及一种吸盘定位线平面度检测装置及检测方法。本检测装置包括具有工作台的机架，在工作台中心区域设有通孔，在工作台的中心区域设有位于通孔上端且与工作台上表面间隔设置的测量固定板，在测量固定板中心穿设有竖直设置的筒状座和设置在筒状座内且竖直设置的定位线测针，定位线测针上端延长至筒状座上端外，在筒状座的上表面设有若干圆周分布在定位线测针上端外围的竖直基准柱，在工作台上还设有能够使吸盘固定在竖直基准柱上的压紧机构，在测量固定板上设有若干圆周分布在定位线测针上端外围的径向移动座，在每个径向移动座上分别设有若干圆周分布在定位线测针上端外围且能够在竖直方向升降的浮动测头。本发明的优点在于检测简单。

主权项

一种吸盘定位线平面度检测装置，吸盘一面具有若干从内往外设置的吸合平面(1a)，以及设置在吸盘中心的定位沉孔(1b)，本装置包括具有工作台(11)的机架(1)，其特征在于，所述的工作台(11)中心区域设有竖直的通孔(12)，在工作台(11)的中心区域设有位于通孔(12)上端且与工作台(11)上表面间隔设置的测量固定板(2)，在测量固定板(2)中心穿设有竖直设置的筒状座(21)和设置在筒状座(21)内且竖直设置的定位线测针(22)，定位线测针(22)上端延长至筒状座(21)上端外，筒状座(21)的下端连接有固定在筒状座(21)下端的定位线检测光栅(23)，在筒状座(21)的上表面设有若干圆周分布在定位线测针(22)上端外围的竖直基准柱(24)，在工作台(11)上还设有能够使吸盘固定在竖直基准柱(24)上的压紧机构(3)，在测量固定板(2)上设有若干圆周分布在定位线测针(22)上端外围的径向移动座(4)且径向移动座(4)与能驱动径向移动座(4)靠近定位线测针(22)或者远离定位线测针(22)的径向驱动结构连接，在每个径向移动座(4)上分别设有若干圆周分布在定位线测针(22)上端外围且能够在竖直方向升降的浮动测头(41)，所述的浮动测头(41)和平面度光栅(42)连接，浮动测头(41)上端与吸合平面(1a)接触且定位线测针(22)插于定位沉孔(1b)中从而测试吸合平面(1a)到定位沉孔(1b)孔底之间的垂直距离。