[发明专利]一种双阴极竖直旋转微电铸装置有效
申请号: | 201610166046.X | 申请日: | 2016-03-22 |
公开(公告)号: | CN105648479B | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
发明(设计)人: | 蒋炳炎;黎醒;翁灿;董彦灼 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C25D1/00 | 分类号: | C25D1/00 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所43114 | 代理人: | 邓建辉 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种双阴极竖直旋转微电铸装置,结构包括电机(1)、电铸槽(3)、双阴极夹具单元(4)和电源(5),电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)连接,双阴极夹具单元(4)安放在电铸槽(3)中,电源阴极和阳极分别与电解阴极(4f)和电解阳极(4k)连接,电铸槽(3)用于放置电铸液,电机(1)提供双阴极夹具单元(4)旋转所需的力矩,电源(5)提供电铸电能。本发明可实现平面阴极微电铸工艺中阴极绕竖直轴旋转,以减少析氢、杂质吸附等带来的铸件缺陷,增加电铸液扰动效果,改善离子传质条件,且一次电铸实验过程中成型两个工艺条件相同的铸件。 | ||
搜索关键词: | 一种 阴极 竖直 旋转 电铸 装置 | ||
【主权项】:
一种双阴极竖直旋转微电铸装置,包括电铸槽(3)、电源(5)、电机(1)、电解阴极(4f)和电解阳极(4k),其特征是:所述的电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)传动连接,所述的双阴极夹具单元(4)安放在所述的电铸槽(3)中;所述的双阴极夹具单元(4)由一块上固定板(4a)、一块下固定板(4d)、两块阴极安装板(4b)、两块阴极固定板(4g)和一块阳极安装板(4c)组成,所述的竖直旋转轴(2)与所述的上固定板(4a)上端连接,所述的阳极安装板(4c)上端竖直安装在上固定板(4a)中间部位,所述的阳极安装板(4c)下端竖直安装在所述的下固定板(4d)中间部位,所述的阳极安装板(4c)上固定安装所述的电解阳极(4k),两块所述的阴极安装板(4b)相对于所述的阳极安装板(4c)平行安装在所述的阳极安装板(4c)的两侧,两块所述的阴极安装板(4b)上端分别与所述的上固定板(4a)连接,下端分别与所述的下固定板(4d)连接,两块电解阴极(4f)分别安装在两块所述的阴极安装板(4b)面对所述的阳极安装板(4c)的一侧且夹在所述的阴极安装板(4b)与阴极固定板(4g)中间,所述的阴极固定板(4g)与所述的阴极安装板(4b)相对固定;所述的电源(5)的阴极和阳极分别与所述的双阴极夹具单元(4)的所述的电解阴极(4f)和电解阳极(4k)电连接。
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