[发明专利]一种时空混合匹配的双波长同时相移干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种时空混合匹配的双波长同时相移干涉测量方法，包括：构造共路双波长同时相移双波长干涉系统，使两不同波长的激光沿相同的路径形成双波长混合干涉条纹图，通过压电陶瓷传感器移动产生相移量，同时使用单个黑白CCD采集N幅双波长同时相移双波长干涉图；对所述N幅干涉图进行主成份分析，得到两个波长下的相移量，然后对这两个波长下的相移量进行矫正，把矫正后的相移量代入最小二乘迭代算法，计算出两个波长下的包裹相位；将所述两个波长的包裹相位进行相减并解包，得到合成波长下待测相位分布。所提出的方法装置简单，测量范围大，精度高，稳定可靠，对相移器精度要求低。

主权项

1.一种时空混合匹配的同时相移双波长干涉测量方法，其特征在于，包含以下步骤：构造共路同时相移双波长干涉系统，使两不同波长的激光沿相同的路径形成双波长混合干涉条纹图，通过压电陶瓷传感器移动产生相移量，同时使用单个黑白CCD采集N幅同时相移双波长干涉图；对所述N幅干涉图进行主成份分析，得到两个波长下的相移量：其中，λ₁与λ₂为所述共路同时相移双波长干涉系统的两个光源的波长且λ₁＞λ₂，N表示总共有N幅同时相移双波长干涉图，和分别表示第n幅图在λ₁和λ₂下对应的相移量；然后对这两个波长下的相移量进行矫正，包括：对和分别进行解包裹操作，得和若有否则若有否则把矫正后的相移量代入最小二乘迭代算法，计算出两个波长下的包裹相位；将所述两个波长的包裹相位进行相减并解包，得到合成波长下待测相位分布。