[发明专利]匹配装置、匹配方法及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201610169274.2 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN107256820B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 卫晶;李兴存;韦刚;成晓阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的匹配装置、匹配方法及半导体加工设备，包括匹配器、固定负载和控制装置，匹配器用于使射频电源的输出阻抗与反应腔室的输入阻抗相匹配；固定负载的阻抗与射频电源的输出阻抗相等；控制装置用于按预设时序在匹配模式与固定模式之间进行切换，以实现将射频电源的连续波输出转换成脉冲输出后通过匹配器加载至反应腔室，其中，匹配模式为：控制装置控制由射频电源输出的连续波功率通过匹配器加载至反应腔室；固定模式为：控制装置控制由射频电源输出的连续波功率加载至固定负载。本发明提供的匹配装置，其可以使射频电源始终输出连续波功率，而无需输出脉冲波功率，从而可以避免在输出脉冲功率时发生的过冲现象或者匹配不稳定、不重复的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 装置 方法 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种匹配装置，包括匹配器，用于使射频电源的输出阻抗与反应腔室的输入阻抗相匹配，其特征在于，还包括固定负载和控制装置，其中，所述固定负载的阻抗与所述射频电源的输出阻抗相等；所述控制装置用于按预设时序在匹配模式与固定模式之间进行切换，以实现将射频电源的连续波输出转换成脉冲输出后通过匹配器加载至反应腔室，其中，所述匹配模式为：所述控制装置控制由所述射频电源输出的连续波功率通过所述匹配器加载至所述反应腔室；所述固定模式为：所述控制装置控制由所述射频电源输出的连续波功率加载至所述固定负载。
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