[发明专利]一种金属太赫兹至远红外复折射率的联合反演方法有效

专利信息
申请号: 201610171959.0 申请日: 2016-03-24
公开(公告)号: CN105823756B 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 牟媛;吴振森;曹运华;阳志强 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41;G01N21/3586;G01N21/3581
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 赵永伟
地址: 710071 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种金属太赫兹至远红外复折射率的联合反演方法,利用远红外椭偏仪测量波数范围在262cm‑1~7946cm‑1的复折射率精确解;结合远红外傅里叶光谱仪,测量金属在所述波数范围以内的反射率谱;截取椭偏仪测量的靠近太赫兹高频端的复折射率作为实验初值,采用反射系数幅度和相位的KK关系,调整指数外推参数,直至反演结果与椭偏仪复折射率定标结果满足误差要求,获得太赫兹‑远红外金属的复折射率;对比反演结果与椭偏仪相同频段的测量值,验证反演结果的准确性。该方法理论与实验相互验证,反演结果可靠性高,弥补了THz频段复折射率测量困难的缺陷,为太赫兹材料散射特性和太赫兹雷达成像技术的发展提供了研究基础。
搜索关键词: 一种 金属 赫兹 红外 折射率 联合 反演 方法
【主权项】:
1.一种金属太赫兹至远红外复折射率的联合反演方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:利用远红外椭偏仪测量波数在262cm‑1~7946cm‑1范围内的抛光金属样片的复折射率值,截取靠近太赫兹高频端的复折射率作为实验初值,计算其垂直入射下的反射率谱,为步骤2的反演结果提供实验定标;步骤2:利用远红外傅里叶光谱仪测量抛光金属样片的太赫兹‑远红外频段的反射率谱,将测量结果与椭偏仪相同频段的垂直入射下的反射率谱对比,验证光谱仪测量值,为步骤3中KK法反演复折射率提供反射率幅度谱信息;步骤3:结合反射系数幅度和相位的Kramers‑Kronig关系,建立KK反演程序,计算目标材料的复折射率;步骤4:利用步骤1中椭偏仪测量的复折射率值作为定标,调整外推指数参数λ,若反演复折射率与步骤1中相同频段测量值吻合,则输出λ=λ0,确定材料复折射率谱;若两者误差较大,则重复步骤3,调整λ,直至反演结果满足误差要求。
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