[发明专利]用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备在审
| 申请号： | 201610172627.4 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105839074A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 柳东柱;尹元基;李宪民 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;刘久亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备，其包括沉积单元。所述沉积单元包括：基座，基板被安装在所述基座上；以及喷头，所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 金属 有机化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池的金属有机化学气相沉积设备，该金属有机化学气相沉积设备包括沉积单元，所述沉积单元包括：基座，基板被安装在所述基座上；以及喷头，所述喷头用于通过将用于沉积所需的多种原料气体相混合来制备反应气体并且向所述基座提供所述反应气体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
