[发明专利]一种显示基板冷却设备有效
| 申请号： | 201610172903.7 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105810612B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 邢淑影;曹旭东;杜强强 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 刘悦晗;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示基板冷却设备，利用冷却盘承载显示基板，在冷却盘上开设送风口，利用送风装置从冷却盘的下方将冷却气体经由送风口输送至所述显示基板的基底，冷却气体不直接作用于显示基板的彩膜膜面，而是吹在显示基板的背面，从而保证彩膜膜面厚度均匀，提高显示基板的产品品质，而且，冷却后的显示基板的彩膜膜面的质量不受影响，因此，本发明的显示基板冷却设备还可以应用在彩膜基板前烘(涂布后固化)冷却，应用范围更广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 冷却 设备 | ||
【主权项】：
1.一种显示基板冷却设备，其特征在于，包括送风装置和冷却盘，所述冷却盘水平设置，且开设有送风口，显示基板放置于所述冷却盘上；所述送风装置设置于所述冷却盘的下方，用于将冷却气体经由所述送风口输送至所述显示基板的基底，所述冷却盘的上表面设置有用于承载所述显示基板的支撑部件，位于所述冷却盘的四周位置的支撑部件的顶部设置有通孔；所述设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与设置有通孔的支撑部件相连，用于对所述通孔内抽真空，以使所述支撑部件吸附所述显示基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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