[发明专利]集成有天线结构的声表面波作用力传感器在审

专利信息
申请号: 201610173542.8 申请日: 2016-03-24
公开(公告)号: CN107230819A 公开(公告)日: 2017-10-03
发明(设计)人: 张凯 申请(专利权)人: 成都灯岛科技有限公司
主分类号: H01Q1/22 分类号: H01Q1/22;G01L1/25
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610041 四川省成都市高新*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种集成有天线结构的声表面波作用力传感器,压电基底(1)为圆柱形结构,压电基地(1)的一个端面上设有凹槽,叉指换能器IDT(4)和反射栅(5)位于凹槽之中;叉指换能器IDT(4)位于凹槽的中部,反射栅(5)分别位于叉指换能器IDT(4)的两侧,叉指换能器IDT(4)的两端与电极面(2)相连,电极面(2)呈扇形并延伸到压电基底(1)的端面边缘,电极面(2)之间的压电基底(1)端面上设置有天线图形(3)。本发明将天线结构与SAW器件进行集成,使得SAW器件的信号可以直接通过天线发射出去,大大减小了器件的尺寸,拓展了SAW作用力传感器的使用范围,可以有效用于恶劣环境的作用力测量之中。
搜索关键词: 集成 天线 结构 表面波 作用力 传感器
【主权项】:
集成有天线结构的声表面波作用力传感器,其特征在于,包括压电基底(1)、电极面(2)、天线图形(3)、叉指换能器IDT(4)和反射栅(5),压电基底(1)为圆柱形结构,压电基地(1)的一个端面上设有凹槽,叉指换能器IDT(4)和反射栅(5)位于凹槽之中;叉指换能器IDT(4)位于凹槽的中部,反射栅(5)分别位于叉指换能器IDT(4)的两侧,叉指换能器IDT(4)的两端与电极面(2)相连,电极面(2)呈扇形并延伸到压电基底(1)的端面边缘,电极面(2)之间的压电基底(1)端面上设置有天线图形(3)。
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