[发明专利]集成有天线结构的声表面波作用力传感器在审
申请号: | 201610173542.8 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN107230819A | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 张凯 | 申请(专利权)人: | 成都灯岛科技有限公司 |
主分类号: | H01Q1/22 | 分类号: | H01Q1/22;G01L1/25 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610041 四川省成都市高新*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成有天线结构的声表面波作用力传感器,压电基底(1)为圆柱形结构,压电基地(1)的一个端面上设有凹槽,叉指换能器IDT(4)和反射栅(5)位于凹槽之中;叉指换能器IDT(4)位于凹槽的中部,反射栅(5)分别位于叉指换能器IDT(4)的两侧,叉指换能器IDT(4)的两端与电极面(2)相连,电极面(2)呈扇形并延伸到压电基底(1)的端面边缘,电极面(2)之间的压电基底(1)端面上设置有天线图形(3)。本发明将天线结构与SAW器件进行集成,使得SAW器件的信号可以直接通过天线发射出去,大大减小了器件的尺寸,拓展了SAW作用力传感器的使用范围,可以有效用于恶劣环境的作用力测量之中。 | ||
搜索关键词: | 集成 天线 结构 表面波 作用力 传感器 | ||
【主权项】:
集成有天线结构的声表面波作用力传感器,其特征在于,包括压电基底(1)、电极面(2)、天线图形(3)、叉指换能器IDT(4)和反射栅(5),压电基底(1)为圆柱形结构,压电基地(1)的一个端面上设有凹槽,叉指换能器IDT(4)和反射栅(5)位于凹槽之中;叉指换能器IDT(4)位于凹槽的中部,反射栅(5)分别位于叉指换能器IDT(4)的两侧,叉指换能器IDT(4)的两端与电极面(2)相连,电极面(2)呈扇形并延伸到压电基底(1)的端面边缘,电极面(2)之间的压电基底(1)端面上设置有天线图形(3)。
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