[发明专利]气体传感器

摘要

本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

主权项

1.一种气体传感器（5），包括：/n传感器元件（10），所述传感器元件（10）包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底包括与所述传感器元件（10）相关联的MEMS隔膜（25），所述第二衬底布置在所述第一衬底之上，其中所述第一衬底和所述第二衬底限定参考室（30）的至少部分；/n发射体元件（20），所述发射体元件（20）包括发射体单元（100）和发射体腔体（105），所述发射体单元（100）布置在所述第一衬底上的所述MEMS隔膜（25）旁边并且被构造为发射电磁辐射（55），所述发射体腔体（105）布置在所述发射体单元（100）上；/n在所述第二衬底上的测量室（15），所述测量室（15）被构造用于容纳测量气体（50），其中所述测量室（15）包括至少一个表面区域，所述至少一个表面区域构造为将所述电磁辐射（55）从所述发射体单元（100）反射到所述传感器元件（10）上；以及/n其中所述发射体元件（20）和所述传感器元件（10）彼此固定地布置。/n