[发明专利]一种长杆状可伸缩旋转型离子源在审
| 申请号： | 201610176800.8 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN105977116A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 谢亚红;顾玉明;胡纯栋;谢远来;宋云涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本发明装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 杆状 伸缩 旋转 离子源 | ||
【主权项】：
一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，其特征在于：所述离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；所述离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，两个灯丝支撑座之间采用陶瓷杆隔离电位，所述灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，冷却水从中空的水管内流入再通过灯丝冷却水管流出形成冷却水循环；所述离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。
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