[发明专利]多孔玻璃基材的制造方法

摘要

提供了一种多孔玻璃基材的制造方法。在利用VAD工艺的大型多孔基材的制造装置中，通过形成平滑的锥形状部来抑制基材的龟裂和外径变化，而无需改变非有效部的长度。在利用VAD工艺制造多孔基材时，在将玻璃微粒沉积在基材的靠外侧的层的燃烧器中，气体的气体流量从沉积开始时到达到稳定状态时的时间持续得更长。

主权项

一种多孔玻璃基材的制造方法，其包括通过以下步骤来制造多孔玻璃基材：在绕着作为转动轴线的自身的中心轴线转动的起始元件被相对于通过在氢氧焰中水解含有玻璃原料的气体而产生玻璃微粒的燃烧器相对地向上拉的同时，由燃烧器产生的玻璃微粒从所述起始元件开始沿着所述起始元件的中心轴线沉积，其中，使用所述燃烧器中的第一燃烧器形成所述多孔玻璃基材的芯部；使用所述燃烧器中的第二燃烧器在所述芯部的外周形成所述多孔玻璃基材的第一包壳部；以及使用所述燃烧器中的第三燃烧器在所述第一包壳部的外周形成所述多孔玻璃基材的第二包壳部，并且其中，Ta＜Tb＜Tc，其中Ta是供给到所述第一燃烧器的气体的流量从沉积开始时的流量通过增加流量到达到稳定状态时的流量的时间，Ta的单位为分钟，Tb是供给到所述第二燃烧器的气体的流量从沉积开始时的流量通过增加流量到达到稳定状态时的流量的时间，Tb的单位为分钟，Tc是供给到所述第三燃烧器的气体的流量从沉积开始时的流量通过增加流量到达到稳定状态时的流量的时间，Tc的单位为分钟。