[发明专利]光产酸单体及其前体

摘要

光产酸单体及其前体。提供了一种具有式(I)的单体化合物：其中R¹，R²和R³各自独立为H，F，C_1-10烷基，氟取代C_1-10烷基，C_1-10环烷基，或氟取代C_1-10环烷基，至少一个R¹，R²或R³为F；n为1到10的整数；A是卤化或非卤化含C_2-30烯烃的可聚合基团，以及G⁺为有机或无机阳离子。单体是磺内酯前体反应产物和含羧基或羟基卤化或非卤化含C_2-30烯烃化合物的反应产物。聚合物包括式(I)的单体。

主权项

一种具有式(VII)或(VIII)的化合物：其中R²，R³和R⁷各自独立为H，F，C_1‑10烷基或氟取代C_1‑10烷基，R⁸各自独立为F、C_1‑10烷基或氟取代C_1‑10烷基；L为卤化或非卤化C_1‑30亚烷基，C_2‑30亚烯基，单环或多环C_3‑30环烷基，单环或多环C_6‑30亚芳基，或单环或多环C_7‑30亚烷基‑亚芳基基团，m为0到4的整数，n为1，2，或3，以及G⁺具有式(XVI)：其中R¹⁰，R¹¹，以及R¹²各自独立为羟基，腈基，卤素，C_1‑10烷基，C_1‑10氟烷基，C_1‑10烷氧基，C_1‑10氟烷氧基，C_6‑20芳基，C_6‑20氟代芳基，C_6‑20芳氧基，或C_6‑20氟代芳氧基，r为0到5的整数；以及s和t各自为0到4的整数。