[发明专利]一种阵列基板及其制作方法

摘要

本发明公开一种阵列基板及其制作方法，涉及显示技术领域，为解决在阵列基板的制作过程中，ESD现象具有较高的发生机率的问题。所述阵列基板包括至少一个ESD结构，所述ESD结构包括：第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管的栅极绝缘层上设有第一过孔，第一过孔中设有第一连接介质，第一连接介质用于连接第一薄膜晶体管的控制端和第一薄膜晶体管的输入端；第二薄膜晶体管的栅极绝缘层上设有第二过孔，第二过孔中设有第二连接介质，第二连接介质用于连接第二薄膜晶体管的控制端和第二薄膜晶体管的输入端。所述阵列基板的制作方法用于制作上述技术方案所提的阵列基板。本发明提供的阵列基板应用在TFT-LCD中。

主权项

一种阵列基板，包括至少一个ESD结构，所述ESD结构包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管的控制端与所述第一薄膜晶体管的输入端相连，且与所述阵列基板中的信号线连接，所述第一薄膜晶体管的输入端与所述第二薄膜晶体管的输出端相连，所述第一薄膜晶体管的输出端与所述第二薄膜晶体管的输入端相连；所述第二薄膜晶体管的控制端与所述第二薄膜晶体管的输入端相连，且与所述阵列基板中的公共电极连接，其特征在于，所述第一薄膜晶体管的栅极绝缘层上设有第一过孔，所述第一过孔中设有第一连接介质，所述第一连接介质用于连接所述第一薄膜晶体管的控制端和所述第一薄膜晶体管的输入端；所述第二薄膜晶体管的栅极绝缘层上设有第二过孔，所述第二过孔中设有第二连接介质，所述第二连接介质用于连接所述第二薄膜晶体管的控制端和所述第二薄膜晶体管的输入端。