[发明专利]基板处理方法及基板处理装置

摘要

基板保持方法，用于使基板保持水平，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上；第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置的多个定位销变为关闭状态；第二准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的与第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置的多个把持用销变为打开状态；定位工序，在载置工序、第一准备工序及第二准备工序之后，通过使基板搬运机构移动并使基板的周缘部与多个定位销抵接，来对基板定位；基板把持工序，在定位工序之后，将多个把持用销变为关闭状态，由此，通过多个定位销和多个把持用销来保持基板；搬运机构退避工序，在基板把持工序之后，使基板搬运机构从旋转底座的上方退避。

主权项

1.一种基板处理方法，用于使基板保持水平并对该基板进行处理，其特征在于，包括：载置工序，将基板载置在基板搬运机构上，第一准备工序，在旋转底座的上表面周缘部的第一区域中，将沿周向配置且设置于所述旋转底座的能够开闭的多个定位销变为关闭状态，第二准备工序，在所述旋转底座的上表面周缘部的与所述第一区域在周向上不重叠的第二区域中，将沿周向配置且设置于所述旋转底座的能够开闭的多个把持用销变为打开状态，定位工序，在所述载置工序、所述第一准备工序及所述第二准备工序之后，通过使所述基板搬运机构移动并使所述基板的周缘部与所述多个定位销抵接，来对所述基板定位，基板把持工序，在所述定位工序之后，将所述多个把持用销变为关闭状态，由此，通过所述多个定位销和所述多个把持用销来保持所述基板，搬运机构退避工序，在所述基板把持工序之后，使所述基板搬运机构从所述旋转底座的上方退避，基板处理工序，在所述搬运机构退避工序之后，一边通过所述多个定位销和所述多个把持用销来保持所述基板，一边对所述基板进行处理。