[发明专利]光电转换装置及相机有效
申请号: | 201610177656.X | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN106024814B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
发明(设计)人: | 广田克范 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 宋岩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本公开内容涉及光电转换装置和相机。光电转换装置包括第一导电类型的电荷累积区域、第二导电类型的第一半导体区域、第二导电类型的第二半导体区域以及元件隔离部。第一半导体区域被布置成从电荷累积区域和元件隔离部之间的部分向下延伸,并且第二半导体区域包括布置在电荷累积区域下方的部分,以及电荷累积区域、第一半导体区域和第二半导体区域在深度方向上的杂质浓度分布在深度Rp1、Rp2和Rp3处分别具有峰值,且满足Rp1 | ||
搜索关键词: | 光电 转换 装置 相机 | ||
【主权项】:
1.一种光电转换装置,其特征在于,包括:第一导电类型的电荷累积区域,所述电荷累积区域被布置在半导体衬底中;不同于第一导电类型的第二导电类型的第一半导体区域,所述第一半导体区域被布置在半导体衬底中;以及第二导电类型的第二半导体区域,所述第二半导体区域被布置在半导体衬底中;以及由绝缘体构成的元件隔离部,所述元件隔离部被布置在半导体衬底上,其中,第一半导体区域被布置成从电荷累积区域和元件隔离部之间的部分向下延伸,并且第二半导体区域包括布置在电荷累积区域下方的部分,以及电荷累积区域在半导体衬底的深度方向上的杂质浓度分布在深度Rp1处具有峰值,第一半导体区域在所述深度方向上的杂质浓度分布在深度Rp2处具有峰值,第二半导体区域在所述深度方向上的杂质浓度分布在深度Rp3处具有峰值,且满足Rp1<Rp2<Rp3令C1是第一半导体区域在深度Rp2处的杂质浓度且C2是第二半导体区域在深度Rp3处的杂质浓度,则满足C1>C2。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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