[发明专利]一种光分路器晶圆贴片系统

摘要

本发明公布了一种光分路器晶圆贴片系统，L型支架上设有压杆；压杆下端设有压头顶住压板；下真空吸座上设有晶圆贴合台，晶圆贴合台中心设有圆弧吸气凹槽，圆弧吸气凹槽中心设有吸气孔连通抽气管道；晶圆贴合台上以吸气孔为圆心均匀设有环形导气槽，晶圆贴合台上以吸气孔为中心呈辐射状设有直条导气槽；下真空吸座上的环形导气槽与直条导气槽相互连通；上真空吸座下面设有盖板贴合台，盖板贴合台中心设有圆弧吸气凹槽，圆弧吸气凹槽中心设有吸气孔连通抽气管道；盖板贴合台上以吸气孔为中心呈辐射状均匀设有直条导气槽与圆弧吸气凹槽连通；抽气管道均连接真空泵。它能大大提高晶圆的贴片效率与质量，保证光分路器芯片的可靠性。

主权项

一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，它包括垂直设置在底座（1）侧边的L型支架（10），所述底座（1）上面设置有下真空吸座（2）；所述下真空吸座（2）上面设置有上真空吸座（3）；所述上真空吸座（3）上面中心设置有压板（11）；所述L型支架（10）上螺纹连接垂直设置有压杆（8）位于上真空吸座（3）中心；所述压杆（8）顶端设置有旋钮（9），下端设置有压头（5）顶住压板（11）；所述下真空吸座（2）上面设置有晶圆贴合台（27），所述晶圆贴合台（27）中心设置有圆弧吸气凹槽（22），所述圆弧吸气凹槽（22）中心设置有吸气孔（23）连通设置在下真空吸座（2）内部的抽气管道（13）；所述晶圆贴合台（27）上以吸气孔（23）为圆心均匀设置有环形导气槽（28），所述晶圆贴合台（27）上以吸气孔（23）为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽（21）与圆弧吸气凹槽（22）连通；所述下真空吸座（2）上的环形导气槽（28）与直条导气槽（21）相互连通；所述上真空吸座（3）下面设置有盖板贴合台（20），所述盖板贴合台（20）中心设置有圆弧吸气凹槽（22），所述圆弧吸气凹槽（22）中心设置有吸气孔（23）连通设置在上真空吸座（3）内部的抽气管道（13）；所述盖板贴合台（20）上以吸气孔（23）为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽（21）与圆弧吸气凹槽（22）连通；所述抽气管道（13）均通过抽气接头（14）连接真空泵；所述上真空吸座（3）四角均设置有千分尺（29），所述千分尺（29）通过高度调节孔（30）支撑在下真空吸座（2）上；所述压头（5）为半球形状，所述压板（11）上面中心设置有与压头（5）相配合的圆弧凹槽（12）。