[发明专利]校正白光相移干涉仪中的条纹级次的误差的方法

摘要

公开了一种校正白光相移干涉仪中的条纹级次的误差的方法，所述方法包括：获取干涉信号，确定位置索引，计算真实位置。在获取干涉信号的操作中，通过彩色照相机在红色干涉信号、绿色干涉信号和蓝色干涉信号中获取至少两个彩色干涉信号。在确定索引位置的操作中，具有至少两个彩色干涉信号之间最小相位差的位置被确定为零级干涉信号的位置索引。在计算真实位置的操作中，通过在位置中设置与所述零级干涉信号的位置索引相对应的位置来计算光具有最大强度的零级干涉信号真实位置，作为零级干涉信号测量位置，其中在通过黑白照相机获取的黑白干涉信号中测量干涉信号，以及在零级干涉信号测量位置增加或减少零级干涉信号测量位置的相位值。

主权项

1.一种校正白光相移干涉仪中的条纹级次的误差的方法，所述白光相移干涉仪包括白光源，用于基于由所述白光源所发射的光产生干涉信号的物镜，用于获取由所述物镜产生的彩色干涉信号的彩色照相机，以及用于获取由所述物镜产生的黑白干涉信号的黑白照相机，其特征在于，所述方法包括：通过所述彩色照相机获取红色干涉信号、绿色干涉信号和蓝色干涉信号中的至少两个彩色干涉信号；基于在至少两个彩色干涉信号之间的具有最小相位差的位置，确定对于零级干涉信号的位置索引；以及通过在位置中设置与所述零级干涉信号的所述位置索引相对应的位置作为所述零级干涉信号测量位置，以及在所述零级干涉信号测量位置增加或减少所述零级干涉信号测量位置的相位值，来计算光具有最大强度的零级干涉信号真实位置，其中，与所述零级干涉信号的所述位置索引相对应的位置在确定所述位置索引时被确定；以及所述位置是在通过黑白照相机获取的所述黑白干涉信号中测量所述黑白干涉信号的位置；其中，通过所述黑白照相机获取的所述黑白干涉信号中条纹级次的误差被通过使用所述彩色照相机获取的所述彩色干涉信号来校正。