[发明专利]热辅助磁头元件的检查装置及其方法

摘要

本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中，即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差，也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备：悬臂；位移检测系统，其检测悬臂的位移；光检测器，其检测来自悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自位移检测部的输出信号和来自光检测器的输出信号对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，还具备：载置部，其载置近场光产生样本；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其将激光照射到近场光产生样本而产生近场光；以及工作台部，其载置载置部和激光照射光学系统来使近场光产生样本在悬臂正下方与从悬臂离开的位置之间进行移动。

主权项

一种热辅助磁头元件的检查装置，其具备：悬臂，其在从热辅助磁头元件的近场光发出部发出了近场光的状态下对上述热辅助磁头元件的表面进行扫描；位移检测系统，其向上述悬臂照射光来检测来自上述悬臂的反射光；光检测器，其检测来自对上述热辅助磁头元件的表面进行扫描的上述悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自上述位移检测部的输出信号和来自上述光检测器的输出信号来对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，上述热辅助磁头元件的检查装置的特征在于，还具备：载置部，其载置近场光产生样本，该近场光产生样本产生与从上述热辅助磁头元件的近场光发出部发出的近场光大致相同的近场光；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其向在上述载置部上载置的上述近场光产生样本照射从上述激光源发射的激光，从而从上述近场光产生样本产生上述近场光；以及工作台部，其载置用于载置上述近场光产生样本的载置部和上述激光照射光学系统，使上述近场光产生样本在上述悬臂的正下方和从上述悬臂离开的位置之间进行移动。